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【 公開特許一覧 「ナノテクノロジー・材料・計測」 】

茨城大学の公開特許一覧 「ナノテクノロジー・材料・計測」

2022年6月現在

 

発明の名称

1

結晶育成装置

2

半導体集積回路装置及びその製造方法

3

含フッ素1,6-ジエン型エーテル化合物及び含フッ素重合物

4

透明含フッ素重合物

5

墨出し装置

6

新規な含フッ素化合物、該含フッ素化合物の重合体の製造方法並びに該含フッ素化合物の重合体からなる光学素子、機能性薄膜及びレジスト膜

7

金属層の結晶粒径及び粒径分布評価方法並びにそれを用いた半導体集積回路装置の製造方法

8

半導体集積回路装置用バリア材の探索方法及び当該探索方法によって探索される半導体集積回路装置用バリア材

9

球体の球径寸法測定方法及びその測定装置

10

半導体集積回路装置及びその製造方法

11

半導体集積回路装置及びその製造方法、並びに該半導体集積回路装置に使用する低抵抗率銅配線の探索方法

12

新規な含窒素複素環化合物、それよりなる電子輸送材料及びそれを含む有機発光素子と太陽電池

13

縮合多環芳香族骨格を有するポリマー及びそれを用いた発光素子及び電極

14

位相差干渉顕微装置

15

超低抵抗率銅配線を有する半導体集積回路装置

16

太陽電池の製造方法、太陽電池

17

銅の成膜装置、銅の成膜方法、銅配線形成方法、銅配線

18

Ru成膜方法、Ru成膜装置、金属成膜装置、Ruバリアメタル層、配線構造

19

銅配線及びその製造方法

20

新規な含フッ素環状有機化合物とその製造方法並びに前記含フッ素環状有機化合物からなる相間移動触媒、金属イオン捕捉剤、電解質形成材料、造影剤及び液浸露光プロセス用液体

21

含フッ素π共役系環状高分子の製造方法と該製造方法によって得られる含フッ素π共役系環状高分子を用いた発光素子

22

結晶アレイ検出器、小角散乱測定装置、及び小角散乱測定方法

23

直線発生方法及び直線発生装置

24

酸化亜鉛薄膜製造装置、マルチプラズマ酸化亜鉛薄膜製造装置、酸化亜鉛薄膜製造方法

25

発電量予測装置、発電量予測方法、プログラム、および電力制御システム

26

芳香族化合物分解能を有する光合成生物および芳香族化合物の分解方法

27

含フッ素多環芳香族化合物とその製造方法、並びに前記含フッ素多環芳香族化合物を用いる有機薄膜トランジスタ、太陽電池、電子写真感光体及び有機発光素子の製造方法

28

微細操作用マイクロマニピュレーション装置

29

二酸化窒素光分解コンバータおよび二酸化窒素光分解コンバータを備えた窒素酸化物濃度測定装置

30

含フッ素多環芳香族化合物とその製造方法、並びに前記含フッ素多環芳香族化合物を用いる有機薄膜トランジスタ、太陽電池、電子写真感光体及び有機発光素子の製造方法

掲載分野

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